扫描镜是通过精确控制镜面的偏角来控制光束的偏转方向，扫描镜可用于光束的指向控制和扫描。昊量光电可提供的光束偏转产品包括以下产品：
1）MEMS 扫描镜：由静电驱动，可提供镜面直径从0.8-7.5mm不等产品。一个产品可在点对点、一个轴谐振另外一个点对点控制，两个轴谐振三种不同模式下工作。
2）音圈电机偏转镜：该振镜单个镜面可实现二维扫描，镜面达15mm，机械偏角达25°。
3）微型振镜：驱动器内置，体积仅12*12.5mm，镜面可更换
4）快反镜：由压电陶瓷驱动，角度定位分辨率可达nrad，由于精确光束偏转控制。
