MPROBE 50 INSITU – 实时薄膜厚度测量仪
原位薄膜厚度测量仪-MPROBE 50 INSITU用于测量薄膜厚度和 n&k（光学常数）的实时光学测量仪。该系统可以在高环境光下工作，因为它使用门控数据采集。原位薄膜厚度测量仪-MPROBE 50 INSITU使用高强度闪光氙灯在宽带 ( UV-NIR) 波长范围内进行精确测量。MProbe 50 系统是完全可定制的，以支持不同的真空室几何形状。原位薄膜厚度测量仪-MPROBE 50 INSITU根据可用的光学端口，可以使用斜入射或垂直入射。光可以聚焦在样品表面或准直。反射探头可以放置在沉积室光学端口的外部或内部（使用光纤馈通）。MProbe 50 系统没有活动部件。典型测量时间~10ms。可以快速可靠地测量任何半透明薄膜。
原位薄膜厚度测量仪-MPROBE 50 INSITU优势：
1.原位薄膜厚度和 n&k 测量
2.用于高环境光环境下测量的门控数据采集
3.材料：500+ 扩展材料数据库
4.连续、快速和可靠的测量
5.灵活的配置——完全定制以匹配沉积室的几何形状
原位薄膜厚度测量仪-MPROBE 50 INSITU选型列表：
MProbe50 | 波长范围 | 厚度范围 |
VIS | 400nm -1100nm | 15nm – 20 μm |
HRVIS | 700nm-1000nm | 1μm-400μm |
NIR | 900nm-1700nm | 100nm – 200μm |
UVVisF | 200nm -900nm | 1nm – 20μm |
UVVISNIR | 200nm-1700nm | 1nm -200μm |
XT | 1590nm -1650nm | 10μm-1mm |
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