通用光学测量仪——波前/倾角/轮廓测量三合一
昊量光电新推出一款非常通用的光学测量仪器，结合了高动态范围波前传感与精密角度测量和电子自动准直功能，内置宽带光源，通用光学测量仪可以用来表征光学表面，测量光束轮廓，AOI和发散角，跟踪漂移焦点等。表征光束功能几乎适用于所有类型的光源，这些光源可以是窄带和高度相干的，如激光，也可以是宽带的，如LED或白光光源。此外，光源也可以发散、准直或聚焦。这款通用光学测量仪器以空间分辨率确定绝对相移，从而实现高动态范围，通光孔径48mm。
通用光学测量仪应用领域：
自适应光学器件（反射镜和透镜）的监测和控制
测量平面镜和非平面镜的形状 (PV) 和表面粗糙度
测量光学透镜的形状和成像质量
测量轴承的同心度（摆动测量）
X 轴和 Y 轴光束自动对准
检查和调整光学测试装置中的光路
高分辨率光学波前测量
测量表面照射的均匀性
测量半导体晶片的变形
测量激光、LED 和白光光源的光束形状和光束质量
处方镜片和隐形眼镜的鉴定
通用光学测量仪产品功能与特点：
提供出色的用户界面(与 Windows 和 MacOS 兼容）
具有高动态范围、Zernike 分解、残余误差、角度倾斜和光束轮廓的二维和三维波面图
运动透镜盖中的可拆卸参考镜可随时进行自检（审计模式），以便进行功能控制
大输入孔径，用于测量光束和反射面，无需额外的聚束器/扩束器
交互式绘图工具，具有实时点跟踪功能和用户可选的色标
内部光源控制功能
所有操作参数（增益、波长等）的输入功能
几乎所有功能的长期功能
实时测量记录功能，以便日后进行离线分析
移动使用时的温度补偿
体积小巧，可存放在手提箱中，便于远程检测和运输
用于 OEM 集成的 API（通过 Python、C++、Matlab 实现 gRPC）
通用光学测量仪标准规格和配置：
| QOQ-025-0550-075 | QOQ-048-0550-075 | QOQ-100-0550-075 | units | |
| 光学规格 | ||||
| 通光孔径 | 25 | 48 | 100 | mm |
| 集成光源 | LED, RG1 (Low risk group) per IEC-62471:2006 | |||
| 集成光源波长 | 550 | nm | ||
| 掩膜点间距 | 350 | 500 | 500 | µm |
| 掩膜通光孔径 | 200 | 250 | 250 | µm |
| 掩膜EFL | 75 | 75 | 75 | mm |
| 有效掩膜孔径 | 6568 | 7668 | 7668 | |
| 蕞小光束直径 | 3 | 3 | 5 | mm |
| 传感器规格 | ||||
| 探测范围 | 400 - 750 | 400 - 750 | 400 - 750 | nm |
| 分辨率 | 4024 x 3036 | 5472 x 3648 | 5472 x 3648 | pix |
| 像素间距 | 1.85 | 2.4 | 2.4 | µm |
| 位深 | 8 Bit | 8 Bit | 8 Bit | |
| 测量规格 | ||||
| 蕞大倾角 | > 4 | > 6 | > 8 | deg |
| 倾角精度 | < 0.5 | < 1 | < 1 | arcsec |
| 倾角分辨率 | < 0.25 | < 0.5 | < 0.5 | arcsec |
| 波前精度 (RMS) | 25 | 30 | 50 | nm |
| 波前灵敏度(RMS) | 10 | 15 | 25 | nm |
| 波前动态范围 | > 1 | > 1.5 | > 2 | mm |
通用光学测量仪终端应用
| 测量能力 | 一般实验室用途 | 光学元件制造 | 光学仪器 | 航天 | 半导体晶圆 | 医学设备 | 天文学 |
| 反射镜/ 透镜表面面形 | • | • | • | • | • | • | • |
| 光学波前误差 | • | • | • | • | • | • | • |
| 光束指向角 | • | • | • | • | • | • | • |
| 轴承跳动/摆动 | • | • | • | • | • | • | • |
| 表面平整度/面形 | • | • | • | ||||
| 光学镀膜吸收 | • | • | • | • | |||
| 自适应光学控制 | • | • | • | • | • | • | |
| 自动光学对准 | • | • | • | • | |||
| 透射波前误差 | • | • | • | • | • | ||
| 瞄准线误差 | • | • | • | • | • | • | |
| 矫正镜片测试 | • | • | |||||
| 焦平面翘曲/倾斜 | • | • | • | • | • | • | • |
| 瞬态光学记录 | • | • | • | • | • | • | |
| 衍射光学特性 | • | • | • | • |
上海昊量光电设备有限公司是光电产品专业代理商，产品包括各类激光器、光电调制器、光学测量设备、光学元件等，涉及应用涵盖了材料加工、光通讯、生物医疗、科学研究、国防、量子光学、生物显微、物联传感、激光制造等；可为客户提供完整的设备安装，培训，硬件开发，软件开发，系统集成等服务。
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