构成OLED结构的薄膜的计量是至关重要的。MProbe UVVis和MProbe UVVis- msp提供了一种廉价、可靠、非接触的计量方法。可以测量材料的厚度和光学常数。本文主要介绍了OLED的厚度测量方法。
OLED厚度测量
OLED结构用于从电视屏幕到手机的许多应用中。典型的OLED结构包括夹在电极之间的三个薄有机层:HTL(空穴传输层)、EML(电子迁移率)或空穴阻塞层和ETL(电子传输层)。
图1 OLED的结构示意图
构成OLED结构的薄膜的计量是至关重要的。MProbe UVVis和MProbe UVVis- msp提供了一种廉价、可靠、非接触的计量方法。可以测量材料的厚度和光学常数。
MProbe UVVis可以测量毯状(无图案)样品，MProbe UVVis-msp可以使用非常小的光斑尺寸在像素级进行测量。
一、测量实例
图2玻璃上ITO(透明导电氧化物)的测量-使用参数化ITO模型确定厚度和光学常数
图3 ITO上html层的测量-测量了ITO和html的厚度
图4 测量ITO上的EML层-测量ITO和EML厚度
图5 测量ITO上的ETL层-测量ITO和ETL的厚度
图6 测量ITO上的LiF层-测量ITO和LiF的厚度
二、Alq3和NPD测量实例
OLED的一种很有前途的实现是使用NPD和Alq3聚合物材料。这两种材料都具有有趣的电子结构和光学性质，这取决于制备条件。因此，测量光学常数色散随厚度的变化就显得尤为重要。
图7 采用Alq3和NPD的OLED结构
图8 玻璃上Alq3层(17nm)的测量。厚度和光常数都是确定的
图9 Alq3的光学常数(n&k)由测量得到
图10 玻璃上NPD材料的测量:厚度和光学常数的测定
图11 NPD材料的光学常数由测量确定
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