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如何提高动态范围和信噪比

发布时间:2024-07-24 17:23:40 浏览量:581 作者:Alex

摘要

光谱仪是MProbe测量系统的关键组成部分。动态范围(DNR)或信噪比(SNR)如何与厚度和n&k测量相关联。波长分辨率或波长范围如何影响可测量的厚度范围。这些也是我们在使用本款光谱仪前需要了解的知识。

正文


如何提高动态范围和信噪比


之前提到了光谱仪规格中的信噪比,那么我们该如何改进呢?


如何提高动态范围和信噪比?


使用信号平均可以提高动态范围和信噪比。图2显示了10次平均值和不同像素数的附加Boxcar平均值的效果。MProbe系统中的默认测量配方有10个平均值和5像素Boxcar平均值。这提供了约35K的动态范围和约2500SNR。


图2 平均对动态范围和信噪比的影响。


偏移、暗信号和非线性


cmosS11639对于小信号(~范围的30%)自然是线性的,而对于高信号则非常非线性。非线性校正对于反射率/透射率测量至关重要,因为它们依赖于参考来确定绝对值。在Ariel光谱仪中,非线性会在固件中自动校正。非线性始终经过校准而无偏移。这意味着所有测量都需要准确校正偏移和暗信号-否则非线性校准将无效。在批量生产的光谱仪中,暗信号没有得到校正,并且总是存在偏移。用户应该开发自己的程序来处理这个问题,例如进行和减去暗信号测量等。在Ariel光谱仪中,暗信号和偏移量是针对一定的工作温度范围进行校准和校正的。因此,可以在进行测量时无需担心暗信号,阅读更多…偏移量的影响大对于低反射率测量很突出(图3)


图3 35um聚合物薄膜的测量。流行的批量生产的光谱仪按原样使用,没有偏移/暗信号校正。由于非线性和偏移,反射光谱受到限制且失真。Ariel光谱仪具有暗信号/偏移自动校正功能,无需额外步骤即可提供正确的光谱测量。


波长分辨率


根据所需的厚度范围选择波长分辨率。高分辨率允许在较厚的薄膜上进行测量,但需要更窄的波长范围。但较窄的波长范围限制了可测量的min厚度。为了max定波长范围的波长分辨率,需要min化像差并优化狭缝宽度。


Vis系统的波长范围为~400-1000nm(600nm范围),UVVis为200-1000nm(800nm范围)。对于2048像素的探测器,我们的像素分辨率约为0.3-0.4nm。RMS斑点(畸变)为~10um。这意味着使用20um的唾液,我们可以实现<1nm的分辨率。


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