单次测量光波导或者光子器件中的折射率,由于光波导低损耗的特性，因此在光子设备和系统中被大量使用。光波导的折射率分布是决定插入损耗和传播模式的关键参数。基于定量相位成像技术（QPI），Phascis的波前分析仪可以作为测量折射率变化的高精度计量仪器。准确测量折射率变化，对于生产光子器件的开发、优化和质量监控是必要的。作为一种非破坏性测量方法，QPI可提供精确的波导折射率分布。SID4成像系统适用于测量光纤或激光写入波导。
光波导折射率测量
单次测量光波导或者光子器件中的折射率
由于光波导低损耗的特性，因此在光子设备和系统中被大量使用。光波导的折射率分布是决定插入损耗和传播模式的关键参数。基于定量相位成像技术（QPI），Phascis的波前分析仪可以作为测量折射率变化的高精度计量仪器。准确测量折射率变化，对于生产光子器件的开发、优化和质量监控是必要的。作为一种非破坏性测量方法，QPI可提供精确的波导折射率分布。SID4成像系统适用于测量光纤或激光写入波导。
集成在光学显微镜
Phascis定量相位成像（QPI）相机安装在经典明场显微镜上，并且无需修改显微镜。Phasics输出的相位图可以轻易的转化为折射率，如下所示，OPD=(n2-n1)*d，其中n2和n1分别是周围材料的折射率，并且波导和d是折射率变化区的厚度。
光波导测量结构
波导成像可以在两种不同装置中完成：在XY或者正交平面。Phascis定量相位相机测量波导产生的光程差(OPD)。知道波导的机械尺寸后，就可以直接检索折射率值。
OPD(nm)=(n波导-n称底)*机械厚度(mm)
光波导测量结构（正交）
上图显示，波导在正交配置中被切片和测量。
测量示例
optical path Difference (OPD) map
Changes of refractive index map
Waveguide design validation
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