偏振光波通过介质时与介质发生相互作用,这种相互作用将改变光波的偏振态,测出这种偏振态的变化,进而进行分析拟合,得出我们想要的信息。
椭偏仪（五）-椭偏仪数据处理模型-第1部分
采用光学方法可以对许多固体材料的宏观和微观物理性质进行深入研究,其中比较直接的方法就是测量材料的光学常数随光子能量或波长的变化关系,从而与微观机理相联系,来认识和理解光与物质相互作用的本质.椭偏光谱不直接测算光强,而是从相位空间寻找材料的光学信息.椭圆偏振测量法由于其测量精度高、非破坏性而被广泛应用于薄膜的各种特性的测量。
偏振光波通过介质时与介质发生相互作用,这种相互作用将改变光波的偏振态,测出这种偏振态的变化,进而进行分析拟合,得出我们想要的信息。用薄膜的椭圆函数ρ表示薄膜反射线形成椭圆偏振光的特性,即
式中：tanψ表示反射光的两个偏振分量的振幅系数之比,ψ称偏振角；rp表示反射光在Ｐ平面的偏振分量；rs表示反射光在Ｓ平面的偏振分量。
椭偏仪数据处理模型的建立是至关重要的一步,如果不能建立一个与参数匹配良好的模型,前面的测试就毫无意义,甚至如果建立一个错误的模型,其结果将与真实值南辕北辙,误导我们的实验。下面列出几种材料的物理模型：
1.NK模型 它用于已知组分的同类多层膜；
2.柯西模型 它适用于透明材料,如 Al2O3、SiO2、MgF2、SiN4、TiO2、ITO、KCl等。我们用Cauchy公式表达材料在透明波段的光学常数具有较高的精确度：
其中Aj为经验参数；
3.柯西指数模型 它与柯西模型不同的是吸收系数随频率指数变化,它适用于碱卤化物,碱土金属的氟化物、氧化物和半导体(可见光和红外波段的Si,GaAs)等；
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