想要确保位移台的精准可控，进而提高精确度，必须对位移台的各方面误差运动进行分析。本文描述倾斜、轴向和径向误差运动的概念，以期帮助理解位移台的误差分析事项。更具体的误差分析，请参考相关文章。
位移台的倾斜、轴向和径向误差运动
倾斜、轴向和径向误差运动
测量设置：
当载物台旋转时，它不会围绕垂直 Z 轴完运动，在其他 5 个自由度中存在额外的误差运动：
• 垂直方向运动：轴向误差运动
• 在垂直于旋转轴的平面上的运动：径向误差运动。总是有 2 个线性分量 X 和 Y
• 轴围绕 X 轴和 Y 轴的倾斜。倾斜是通过用已知 Z 轴方向间距的分开的 2 个探头进行测量得到的测量量。根据两个探头之间的差异，我们计算倾斜角。
总径向误差是径向平移和轴倾斜的组合。我们测量转子表面正上方的径向误差。平台上越高的位置，径向误差越大，因为“倾斜”的贡献不断增加。两个轴承之间的总径向误差最小，但该位置实际不可接近。
下图是通过对平台位置每 X 度执行一次测量，然后绘制线性或极坐标图而生成的。探针可以在 X 方向或 Y 方向上定向，得到类似的结果。
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