膜厚测量原理(五)-台式薄膜测量系统的应用
使用Semiconsoft公司的先进光谱系统,可以很快、很容易地测量厚度、折射率及消光系数。只要将Semiconsoft 系统插入您电脑的USB接口,就能开始测量。整个系统只需要几分钟来设定,只需要基本的电脑知识就能测量。这种简单的硬件系统和直观的软件为所有新用户提供了薄膜知识。
从近红外到紫外
系统能在波长200纳米到1700纳米 范围内测量厚度从1纳米到1.8毫米的薄膜。Semiconsoft 系统可测量几乎所有常用材料做成的透光薄膜。
容易操作的软件
用户能很快地掌握Semiconsoft软件熟悉而又友好的界面。测量一次大约一秒。测量数据,及测量细节能够非常容易地通过标准Windows文件存盘和输出。另外,公开的 NET 程序非常 容易地让其他软件来控制我们的测量软件。
变复杂为简便的测量
测量和计算的反射光谱都被显示出来,这样很容易判断测量的完整性。测量的n和k曲线也可以。
半导体制程薄膜
实验室研究/制程
Semiconsoft测量系统通常用于测量氧化物,氮化物,光阻,及其它半导体制程薄膜的厚度,粗糙度,和光学常数。除了单层薄膜应用,许多两层和三层膜也可以测量。例如,SOI应用中的硅基上的多晶硅/二氧化硅薄膜。下边的屏幕显示一个典型建模结构的 测量结果。
在线测量
灵活的光学探头装置使在线厚度测量成为可能。需要的只是光纤接入以便测量垂直入射光反射率。请与我们联系以便了解更详细的与您的设各相接的信息。
光学镀膜
防刮伤和/或减反涂层是薄膜在很多工业中的应用。汽车塑料,镜片和很多塑料包装都使用薄膜。对硬涂层,一般先涂底漆以提高薄膜的附着力。Semiconsoft 系统能够同时或分别测量这些薄膜层的厚度,即使样品背面有涂层也无妨。
平板显示应用
合适的聚酰亚胺和光刻胶厚度对平板显示器的生产至关重要。除了测量这些材料,Semiconsoft系统还测量空的或充满的液晶间隙厚度。
了解更多关于膜厚测量系列详情,请访问上海昊量光电的官方网页:
https://www.auniontech.com/three-level-56.html
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