采用消光式椭偏仪精确测量波片的相位延迟量的实验验证。实验表明：该方法测量过程简单，方便，不易受光强波动的影响，测量相位延迟量重复性精度达0.02°，相对误差为0.02％，是一种实用及有效的波片相位延迟量测量的方法。
椭偏仪与偏振相位（八）- 利用消光式椭偏仪测量波片相位延迟量实验
1消光式椭偏仪
使用上海昊量光电设备有限公司的智能消光式椭偏仪，该椭偏仪主要由光源、光机系统、旋转样品台、电路控制系统及数据采集与处理软件组成。光源则采用的波长为632.8nm的氦氖激光器，适用于反射及透射样品测量。使用仪器测量(
，Δ)时精度分别是0．O1°和0．02°。
2实验过程
调节椭偏仪处于直通测量状态，使标准1／4波片的快轴位于+45°，起偏器P位于+45°，检偏器A位于135°，这时系统达到了消光的状态。把待测波片安装在有刻度盘的旋转支架上，然后置于样品台，调节波片使其表面与入射光线垂直，转动待测波片，使得系统重新达到消光状态，这时待测波片的快慢轴应位于±45°。接着将待测波片的刻度盘旋转45°，那么待测波片的快轴与仪器0°方位重合，然后就按照椭偏仪的一般测量过程，测量出
和△。再把待测波片的刻度盘旋90°，重复上述测量。
3实验结果
待测的波片由上海昊量光电设备有限公司提供的云母632．8nm波长的1／4波片及1／2波片测量结果如表1所示：
1/4波片 | 相位延迟量 | ||||||
次数 | 1 | 2 | 3 | 4 | 5 | 平均 | 标准差 |
δ/° | 88.295 | 88.340 | 88.320 | 88.330 | 88.315 | 88.320 | 0.015 |
1/2波片 | 相位延迟量 | ||||||
次数 | 1 | 2 | 3 | 4 | 5 | 平均 | 标准差 |
δ/° | 187.745 | 187.735 | 187.745 | 187.75 | 187.745 | 187.743 | 0.005 |
表1 测量相位延迟量的结果（θ=0°）
同样，可测到同一样品目θ=90°时的相位延迟量，其平均值与θ=0°时的偏差约1°左右，可见，测量相位延迟量的结果与标称值有一定的偏差，采用椭偏仪测量波片相位延迟量的重复性精度优于0．02°，相对误差达O．01°。
4结论
采用消光式椭偏仪测量波片相位延迟量的方法，具有方法简单，测量精度高且不易受光强波动的影响等特点，是一种精确测量波片位相延迟量的实用方法，可推广应用。
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